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四探針電阻率測試儀不同檢定方法所需設備
時間:2016-01-23 點擊次數:1139
   之前我們介紹過《四探針電阻率測試儀的檢定要求和環境》,本文再給大家介紹下四探針電阻率測試儀不同檢定方法所需的設備。

  一、檢定四探針電阻率測試儀,如果用整體法檢定,應具備下列設備:

  1.一臺放大倍數不低于400倍的工具顯微鏡,若干片拋光樣片。

  2.一臺測力儀,測力儀的技術指標為:

  (a)測力范圍:0~9.8N

  (b)測力儀總不確定度≤5%

  3.三套共13個標稱的標準樣片,電阻率名義值為0.001,0.01,0.1,1,2.5,5,10,75,100,180,250,500,1000Ω·cm。

  注:整體方法檢定電阻率測試儀的標準樣片,表面應沒有任何臟物,長期使用應注意定期清洗(按標準樣片使用說明中規定的方法清洗),以保持樣片表面的清潔。

  二、檢定四探針電阻率測試儀,如果用分部件檢定,還應具備下列設備:

  1.一套標準電阻,標準電阻的標稱值為0.001,0.01,0.1,1,10,100,1000Ω共七個阻值。其電阻本身具有溫度修正系數,以備作模擬電路的電阻r。

  2.若干只不同標稱值的一般電阻,以備作模擬電路的電阻R。

  3.0.1℃分度值的溫度計一只。

  另外再補充介紹下四探針電阻率測試儀的探頭檢定。

  1、測量探針壓力:用測力儀測出每根針的力及四根針的合力。

  2、觀察探針壓痕形狀。測量壓痕直徑和間距。

  用一個拋光面的硅片,在被檢儀器四探針的力為合格值時,壓10組壓痕(注意10組壓痕的排列順序,不可弄亂)。然后用顯微鏡觀察每個壓痕的形狀,讀出Y軸YA和YB讀數(即每組壓痕中的zui大值與zui小值),并算出YA和YB的差值。然后測量壓痕直徑及相鄰兩個壓痕之間的距離。合格的探針壓痕是指觸點均勻接觸,而無滑動的痕跡。探針壓痕的直徑和間距按公式計算。

  以上是四探針電阻率測試儀不同檢定方法所需設備的全部內容,更多信息咨詢!

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