電阻率是反映半導體材料導電性能的重要參數之一。測量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標準方法。它的優點是設備簡單、操作方便，精確度高，對樣品的形狀無嚴格要求。
四探針電阻測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備，用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）。適用于生產企業、高等院校、科研部門，實驗室；是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的工具。可配置不同測量裝置測試不同類型材料之電阻率。液晶顯示，溫度補償功能，自動量程，自動測量電阻，電阻率，電導率數據。恒流源輸出；選配：PC軟件過程數據處理和標準電阻校準儀器，薄膜按鍵操作簡單，中文或英文兩種語言界面選擇。
四探針電阻測試儀需要注意的一些事項：
1、儀器操作前請您仔細閱讀使用說明書，規范操作
2、輕拿輕放，避免儀器震動，水平放置，垂直測量
3、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經常拔下，避免灰塵進入航空插引起短接等現象
4、探針筆測試結束，套好護套，避免人為斷針。
